石英材料:0716-8304668/0716-8333088
石英纤维 销售电话 : 18071880998
材料简介
Introduction
使用高品质原材料生产的高精度、大尺寸、厚度为0.5mm的石英玻璃晶圆片,可根据客户要求定制。
使用高品质的合成石英玻璃,最大尺寸可达φ300mm,最薄为0.5mm。高精度的平面度和表面粗糙度。
主要用途
Main Application
半导体制成、生物技术、MEMS(微电子机械系统)、HTPS(高温多晶硅TFT液晶)。
规格参数
Corresponding Specifications
厚度
尺寸公差
( mm )
平面度(PV)(通光面)
TTV
表面粗糙度(Ra)
划痕
凹坑
崩边
( μ m )
≥0.5 mm
直径 ± 0.1
厚度 ± 0.02 mm
≤ λ ( λ = 632.8mm )
≤ 1 μm ( φ 200 mm )
≤ 0.01 μm
宽度 ≤ 10 μm
直径 ≤ 25 μm
≤ 300 μm (楞边)
≤ 200 μm (表面)
详细规格请致电详谈(尺寸φ300mm以内)
TTV(3D图)
TTV
TTV(曲线图)
TTV Curve
样品测量值
Sample Measurement
φ300 mm
平面度(PV)(通光面)
≤ λ ( λ = 632.8mm )
表面粗糙度(Ra)≤ 0.01 μm
产品详情咨询:18272229653
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